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HDD、 PCB、LCD产品及部分洁净度测试
 在硬盘驱动器、半导体和其它微电子工
业领域，无机和有机微染物会引起产品的腐
蚀、划痕、粘接和断路等问题，直接影响产
品的性能和可靠性。材料科学实验室在洁净
度测试方面有丰富的知识背景和经验，有先
进的仪器设备和Class100/1000 无尘室环境
设施保证，并建立了系统的质量控制体系，
可确保检测结果的准确度和可靠性
检测项目
检测项目 |
所用仪器 |
检测方法 |
| 离子污染物 |
F, CL, NO2, NO3, Br,
PO4, SO4; Li, Na, K, Mg,
Ca, NH4 |
IC |
IDEMA, ASTM,
ISO, MIL, GB/T,
及世界著名公司
的指定方法，如
Hitachi, Maxtor,
Seagate, Samsung
etc. |
微颗粒
污染物 |
悬浮微粒 |
计数和尺寸 |
Airborne Particle Counter |
固体颗粒 (有机、
无机、金属、磁
性颗粒) |
计数和尺寸 |
LPC (0.2~350μm) |
| 成分分析 |
FTIR、SEM/EDX, AES,
TOF-SIMS |
| 磁性颗粒检查 (MPI) |
SEM-EDX |
有机物
污染物 |
可挥发物 |
VOC, Outgas |
GC/MS (SHS, DHS) |
| 非挥发性残留物 |
NVR 定性定量分析 |
Electronic Balance, FTIR |
| 可萃取的金属含量 |
K, Na, Ca, Al, Pb, Cr, Cd,
Cu, Se, Mg, Ni, Sn, Zn etc. |
ICP-MS / AAS |
| 材料热性能分析 |
|
TGA/DSC |
| 环境可靠性试验 |
Corrosion Resistance,
Media Compatibility |
T/H Chamber |
| Duration |
T/S Chamber |
专业服务范围
■ 对来料、工序材料和最终产品进行洁净度测试和评价
■ 为用户提供完整的微污染物分析技术和控制方案
■ 为客户提供不同分析技术应用的研讨会和简短课程
无尘洁净室性能测试
 相关标准和规范
■美国联邦标准： FED-STD-209E 无尘室及洁净区域的空气颗粒洁净度级别
■环境科学与技术学会： IEST-RP-CC006.2 无尘洁净室测试规范
■美国国家环境平衡局： 无尘室认证程序规范
■ 美国材料试验学会： ASTM-F50
专业服务内容
■按照国际标准和规范对完工后无尘室性能指标进行测试和等级评定；
■对运行中的无尘室性能进行定期监控测试；
■对无尘室空气质量，包括离子含量、有机挥发性气体、沉积物等进行测试。
检测项目
检测项目 |
仪器 |
检测方法 |
| Airflow velocity & Uniformity |
微电子压力计, 风速计 |
IEST-RP-CC006.2 |
| Airflow volume &uniformity |
微电子压力计 |
| HEPA&ULPA Filter leak |
烟雾光度计，颗粒计数仪 |
| Airborne particle count |
颗粒计数仪 |
FED-STD-209 |
| Room Pressurization |
微电子压力计, 差动式压力计 |
IEST-RP-CC006.2 |
| Airflow parallelism |
烟雾发生器，水平仪， 测量卷尺， |
| Enclosure integrity |
颗粒计数仪 |
| Particle Fallout count |
光学显微镜，表面颗粒检测器
Blank silicon wafer |
| Noise level |
倍频带分析仪 |
| Temperature and moisture |
温湿度测试仪 |
空气质量监控项目
■ 空气中离子含量： 用超纯水吸收空气中的无机离子，后用离子色谱法测定
■ 空气中的有机挥发物： 用吸附管吸收空气中的有机挥发物，后用GC/MS 测定
■ 空气中的沉积物： 用Witness plate 如 Silicone wafer, glass media, microscope
slides 收集空气中沉积物如: particle, stain, haze, 然后用显微镜， FTIR, TOF-SIMS,
AES, SEM/EDX 对沉积物进行形态形貌和成分定性分析.
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